近期，三星宣布其位于韩国华城的V1工厂已开始批量生产基于EUV（极紫外）光刻工艺的6nm和7nm芯片。根据三星的数据，到2020年底，其7nm以下的EUV芯产量将增加两倍。目前，三星计划在今年第一季度开始交付6nm和7nm EUV的芯片。